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甘甫烷; 余明斌; 武爱民; 李伟; 祁明浩;
中国科学院上海微系统所信息功能材料国家重点实验室;
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机译:硅光子学:Ge-on-Si发射极使硅光子学向前发展
机译:结合硅光子学和微电子学用于高带宽压缩光检测
机译:一种将金锡多层复合材料用于微电子学和光子学的新粘合技术。
机译:增材制造:光子学和光电子学中的应用和方向
机译:光电集成CmOs中的多晶硅光子学
机译:用于集成光子学和硅光子学的3D active photonics晶体器件
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机译:制造包括例如绝缘膜的电介质膜。硅,例如微电子学中的“有机物”包括实施有机硅前体和/或包含例如有机硅的混合物的膜的气相沉积。有机化合物
机译:用于微电子学和光电子学的绝缘体上半导体衬底的制造方法
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