硅光子学：光电子学与微电子学的联姻

摘要

中国科学院上海微系统与信息技术研究所的研究团队围绕“微电子和光电子的融合”，基于互补金属氧化物半导体工艺技术，在硅光子加工工艺平台、高性能硅基光器件、硅基光子集成等方面取得了一系列意义重大的进展。