半导体器件物理与工艺的TCAD综合性实验设计

摘要

半导体器件物理与工艺课程主要让学生掌握半导体基本理论,器件基本结构、物理原理、特性及主要工艺技术对器件性能的影响.为了简化课程教学难度,提高教学质量,引入TCAD综合性实验设计.基础实验设计部分不仅能让学生更形象、直观的看到器件形貌、获取器件各参数,而且可以结合课程相关理论知识分析半导体工艺条件及器件结构参数对器件性能的影响,促进知识的转移、转化.创新性实验设计部分,学生根据已有的器件模型,自主设计其它性能器件,激发学生的学习兴趣,培养学生综合设计及创新能力.