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悬臂梁式微电子加速度计有限元建模与动力学分析

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本文简要分析了微电子加速度计的工作原理，建立了悬臂梁式微电子加速度计的实体模型，采用有限元分析软件 AN原SYS8.0对其进行模态分析、瞬态响应分析以及静电-结构耦合分析，考虑不同设计尺寸条件下器件的灵敏度特性，在瞬时激励下的位移和应力响应情况，并分析了静电力对器件性能的影响.

著录项

来源
《科技创新与应用》 |2013年第3期|4-45|共2页
作者
李竑积; 李刚;
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作者单位

黑龙江省生态与农业气象中心;

黑龙江哈尔滨 150030;

哈尔滨理工大学应用科学学院;

黑龙江哈尔滨 150080;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
微电子加速度计; 模态分析; 瞬态响应;

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