飞秒激光烧蚀硅表面弹坑形貌偏振依赖性研究

摘要

不同偏振方向下飞秒激光单点烧蚀硅表面形成了椭圆形弹坑.实验结果发现,沿着激光偏振方向,形成了椭圆形弹坑.随着激光脉冲能量密度的增加,弹坑的形状逐渐接近圆形.利用时域有限差分法(FDTD)分析了物理机理,表面微纳缺陷或初始烧蚀点引起硅表面烧蚀区域电场重新分布,使得电场强度沿着激光偏振方向增强,因此形成了椭圆形状的弹坑.