一种5倍暗场金相物镜的设计

摘要

为解决现有5倍暗场金相物镜照明亮度低且不均匀的问题,采用一体化设计新方法。首先通过选择光学结构,在光学设计软件ZEMAX中合理设置操作数,利用光学软件设计优化出光学系统;然后依据暗场照明约束条件设置反射光线,利用CAD软件设计出反射曲面。通过光学传递函数、暗场照明光束利用率、光斑尺寸和光斑均匀度等参数对物镜性能进行评价。结果表明新5倍暗场金相物镜像质优良、视场明亮均匀,新的设计方法可行。