“二自由度笛卡尔坐标高速高精度定位系统”研制完成

摘要

863计划先进制造与自动化领域支持的“面向MEMS加工的精密定位技术的研究”进展顺利，已经完成了二自由度笛卡尔坐标高速高精度定位系统研制工作。