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悬浮分子污染的解决方案--一种新颖的玻纤过滤介质

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摘要

阐述了在半导体生产中悬浮分子污染(AMC)的来源和测试方法,介绍了一种新颖的AMC滤材,并与其他滤材进行了性能比较.

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来源
《产业用纺织品》 |2003年第1期|33-36|共4页
作者
Mary E.Pierce;
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作者单位

Hollingsworth & Vose公司,美国;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TQ171.777.75;
关键词
悬浮分子污染; 过滤材料; 玻璃纤维; 测试;

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