半导体生产线调度与仿真系统研究与实现

摘要

基于半导体制造企业的实际需求,在SIMUL8平台上设计并实现了半导体生产线调度与仿真系统TB-PSS.该系统主要由三个子系统构成:数据库子系统、仿真调度子系统和性能分析评价子系统.仿真调度子系统是TB-PSS系统的核心,它根据数据库提供的数据和调度规则从生产线当前状态开始仿真,仿真结果预测了生产线即将发生的事件,由性能分析评价子系统反馈给用户.目前,TB-PSS已在半导体生产线上得到了应用,能够辅助生产管理人员决策,并取得了较好的实际效果.