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基于CPLD的全自动半导体芯片键合机的控制技术

         

摘要

针对传统的半导体芯片键合机的控制板卡逻辑器件多、电路复杂、稳定性差等特点,提出了一种基于CPLD的全自动半导体芯片键合机的控制技术.并在试验板上进行了测试,试验表明新的控制技术完全可以取代原控制板卡的功能,且该方案提高了控制板卡的工作速度,具有电路设计简单、可靠性高和易移植等特点.

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