立方氮化硼单晶——金刚石薄膜异质P—N结

摘要

本文在Ｓｉ掺杂Ｎ型片状立方氮化硼单晶（１１１）面上利用热灯丝化学汽相沉积方法生长了掺Ｂ的Ｐ型金刚石薄膜，从而制得了立方氮化硼单晶－金刚石薄膜异质Ｐ－Ｎ结，测试了该Ｐ－Ｎ结的Ｖ－Ａ特性，结果表明其整流特性良好。