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热丝CVD法制备大面积高质量自支撑金刚石厚膜

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摘要

采用热丝CVD方法,在Ф110mm的钼基体上,以丙酮为碳源,在高纯氢的作用下,成功地合成了高质量自支撑金刚石厚膜.X射线、SEM和拉曼光谱分析表明,所合成金刚石厚膜质量均匀,晶体单一、完好、纯度高,生长速度快,已接近制备实用化的金刚石膜的要求.

著录项

来源
《超硬材料工程》 |2009年第4期|1-5|共5页
作者
邓福铭; 赵志岩; 卢学军; 李文铸;
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作者单位

中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京,100083;

中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京,100083;

中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京,100083;

北京迪蒙特佳工模具技术有限公司,北京,100083;

中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京,100083;

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正文语种 chi
中图分类人造宝石、合成宝石的生产;
关键词
热丝CVD; 大面积; 高质量; 金刚石厚膜;

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