抗蚀剂组合法制造DFB激光器λ／4相移光栅

摘要

本文介绍用正、负光致抗蚀剂组合的方法,制造用于DFB激光器λ/4相移光栅的原理及工艺,并给出了研究结果和质量评价。光栅周期为4600A,相移转换区小于3μm。