基于MEMS技术的WSS中'兔耳'现象的研究

摘要

在典型的微电子机械系统(Micro electro-mechanical systems,MEMS)型波长选择开关(Wavelength selective switch,WSS)中,一般使用双轴MEMS微镜来实现波长切换与光功率的衰减.文章从理论上研究了基于MEMS技术的WSS在实现衰减功能时"兔耳"现象产生的机理,并进行了实验验证.实验表明,用衍射理论的解释与实验结果能够较好地吻合.