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硅谐振微传感器中微现象测量技术

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摘要

主要论述硅谐振微传感器中微现象测量.讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等.

著录项

来源
《强度与环境》 |2002年第1期|59-64|共6页
作者
周浩敏; 胡芳; 兰巍; 邢维巍;
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作者单位

北京航空航天大学自动化学院,北京,100083;

北京航空航天大学自动化学院,北京,100083;

北京航空航天大学自动化学院,北京,100083;

北京航空航天大学自动化学院,北京,100083;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;TP216;
关键词
信息处理; 微现象测量; 谐振微传感器;

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