ITO导电氧化物薄膜椭偏光学性质研究

摘要

正1.引言氧化铟锡（ITO）薄膜是一种透明导电薄膜,在光电子行业具有广泛地应用。二十多年来一直引起人们对它的研究兴趣,ITO薄膜具有铁锰矿结构,少量SnO₂掺入In₂O₃中,Sn4+替代In3+,每个Sn原子产生一个电子,形成电子导电的n型半导体,ITO薄膜的电阻率非常低(10-4Ωcm),载流子浓度非常高(～10-20cm-3),表现出类金属性质,从光学性质上看（图1）,在可见光区有很高的透过率（高于90%）,在红外区具有很高的反射率,可达80%以上。ITO薄膜上述的良好光电性能,使得它有许多广泛地应用和潜在地实用价值,将ITO薄膜镀在玻璃上制成的ITO膜透明导电玻璃是液晶显示器