氧化锌半导体薄膜在原子氧探测中的应用

摘要

氧化锌半导体薄膜是用于空间原子氧探测的一种敏感材料.采用脉冲激光沉积方法(PLD)在(001)取向的蓝宝石基底上制备出了高质量的氧化锌薄膜,并在地面原子氧模拟设备中考察了其原子氧敏感特性.结果表明,氧化锌薄膜对原子氧有较好的敏感特性,并且在受热后导电性能可以恢复,满足重复探测的要求.