基于MEMS的双模矩形波导滤波器的设计

摘要

文章提出了一种应用MEMS工艺实现的新型小型化Ka波段滤波器.利用在腔内加载了切角的近似方形脊的矩形波导结构实现双模滤波,有效地减小滤波器的尺寸.采用双腔结构构成了四阶滤波器,实现了较宽的带宽和较好的选择性.输入输出采用正方形同轴结构,易于加工,而且可以进一步减小滤波器尺寸.通过在HFSS中建立模型并仿真,得到了较满意的结果.