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高压功率晶体管的纵向结构设计

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本文给出高压功率晶体管的纵向结构设计，可以为器件的工艺设计提供依据，以及选择实施的工艺方案。

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来源
《上海半导体》 |1995年第2期|34-36|共3页
作者
孔德平; 张本袁;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类 TN323.402;
关键词
功率晶体管; 结构; 设计;

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