透射电子显微镜放大倍率校准的研究

摘要

透射电子显微镜是纳米材料微观形貌表征的一种重要仪器,可实现对微观结构纳米尺度的准确计量和表征,但是在其使用过程中,受样品质量、加速电压、电流稳定性的影响,其标称的放大倍率会产生一定的偏差.基于此,使用可溯源的标准物质对透射电子显微镜的放大倍率进行校准.校准后的TEM可溯源至晶格固定的晶面间距,具有较好的准确性,也能为以后纳米尺度的表征提供可信的依据.