交流永磁伺服系统技术讲座 第六讲(五) 伺服控制系统中的传感器

摘要

3.5光栅光栅是利用光的反射、透射和干涉现象制成的一种光电检测装置,有物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线比较细密,两刻线之间距离(称为栅距)在0.002～0.005mm 之间,它通常用于光谱分析和光波波长的测定。计量光栅刻线较粗,栅距在0.004～0.025mm 之间,在数字检测系统中,通常用于高精度位移的检测,是数控系统中应用较多的一种检测装置。