玻璃磁控溅射镀膜生产线设计

摘要

为实现用真空磁控溅射镀技术对玻璃进行连续式镀膜,设计了一条基于PLC的自动化生产线。在精确控制镀膜时间和靶电流,保持电压不变的条件下,通过闭环控制实现镀膜室的工作气体气压恒定控制.从而得到稳定的沉积速率,最终在实验中利用真空磁控溅射镀膜方法制备出分布均匀、附着性强和特定厚度的膜层。通过上位机软件对参数值进行最优控制,在提高沉积速率的同时实现了玻璃大批量深加工的目的。