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Physik Instrumente发布Plglide HS Planar XY气浮工件台

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近来，Physik Instrumente发布Plglide HS Planar XY气浮工件台，适用于晶圆检测和切割应用以及其它超精密运动应用，如平板检测。

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《智能机器人》 |2015年第5期|15-15|共1页
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正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
工件台; HS; 气浮; 圆检测; 超精密; 应用;

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