发明与专利

摘要

本发明公开了一种基于压电效应的声表面波电场传感器件,包括压电材料,压电材料一端的激振区设置激振电极,另一端的拾振区设置拾振电极,压电材料的激振区和拾振区之间的区域为传播区;激振电极的正极接激励源且其负极接地;拾振电极的正极与信号处理电路连接且其负极接地。激振电极和拾振电极均由两组叉指电极构成,当将传感器置于被测量电场中时,压电材料发生形变,导致声表面波的传播速度或频率发生变化,导致拾振电极接收到的信号发生变化,信号处理电路对该信号进行处理,即可实现对电场的测量。本发明的器件有宽电场测量范围和高灵敏度,制备简单,适用于电网及设备内部电场测量。