Mercury^(TM)1500V数字输出编码器 美国MicroE Systems公司

摘要

新型Mercury^TM1500V数字输出编码器是用于真空设备最小的高性能数字输出编码器。达到1E-8torr，传感器通气，是由适于真空的材料制成，可以持续48h，1500C预热除气。Mercury1500V直接从传感器输出A-夸德-B及零位视窗数字输出。所有的电子设备都安装在一个高8．4mm的盒子中。这种传感器的Z向高度很低，使M1500V编码器成为半导体加工设备中运动平台设计的理想设备。电子显微镜及其他需要真空的设备也受益于Mercury1500V的小尺寸和高性能。