BASIS^(TM)系列质量流量控制器 美国艾里卡特科技有限公司

摘要

艾里卡特扩展其BASISTM系列质量流量控制器的流量量程至20SLPM，从而将BASIS基础版质量流量控制器的应用延伸至喷气溅射、样气稀释及配气混合等行业中，可用于OEM和系统集成的小巧、可靠的气体流量控制方案。