AGV-SPO单轴点扫描振镜

摘要

Aerotech的AGV-SPO单轴点扫描振镜可为激光微加工关键应用提供更大的视野并减少光斑畸变。独特的光学设计可有效控制光束入射,与扫描振镜X轴和Y轴方向运动一致,增加了扫描系统的有效数值孔径。这种设计直接为设定焦距提供了更大的视野,并减少了整个工作区域的光斑畸变。