微机电系统机械性能可靠性研究取得最新进展

摘要

微小尺度下材料和器件的表征是当今科学技术发展的一个关键技术，尤其是在微机电系统（MEMS）方面，其产业化成败与否很大程度上取决于对其可靠性的研究。在国家863计划、中国科学院知识创新工程等的支持下，中国科学院半导体研究所集成中心科研人员致力于这一新兴领域的研究，并在微机电系统机械性能可靠性研究取得了最新进展。