计量光栅传感器超高测量分辨力探究及应用

摘要

计量光栅传感器主要用于线位移和角位移的测量.通过辨向电路对莫尔条纹的移动方向进行正确判断,莫尔条纹具有的位移放大作用和误差平均效应使计量光栅传感器具有较高的测量分辨力;对莫尔条纹进行的细分技术,进一步大大提高了计量光栅传感器的测量分辨力,从而使其达到纳米级超高测量分辨力.计量光栅传感器由于具有分辨力极高等一系列优点,因而在数控伺服系统、坐标镗床等高精度数控机床、高精度测试仪器、大规模集成电路制造设备等中被广泛应用.