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李敏毅; 王蕊; 杨德俊; 吴杰歆;
广东省计量科学研究院工程师;
华南理工大学在读博士生;
电容式加速度传感器; 接口电路 ; 信号调理 ;
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机译:开发了一种完全集成的微机械压阻式加速度传感器/振动传感器,带有集成的空气阻尼器,用于状态监测。
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机译:减小衬底电势对微机械传感器例如传感器的输出信号的影响的方法。电容式加速度传感器,在补偿时钟期间对电容器外部电极施加相反的电压
机译:微机械零件的制造方法用于电容式加速度传感器,其几何设计参数在微机械组件的局部区域内已校正,以确保恒定的蚀刻公差
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