薄膜应变片与传感器

摘要

为了克服金属箔式应变片应变灵敏系数低及滞后，蠕变大的缺点，最后二十多年来，传感器技术 研究虽寻找一种价格便宜，能替代传统金属箔式应变片的新型传感元件。各种金属或合金及半导体、氧化物薄应变片，其由真空蒸发、溅射、化学气相溶积或了子气相溶积等工艺艺制成，具有几乎没蠕变、滞后等理想特性，特别是能获得民阻温度系数低而稳定的产品，并便于批量生产，有利于制成高性能、价廉传感器产品。薄和为现代传感器的四大关键工