微小型钢球表面粗糙度测量仪的研究与设计

摘要

本文介绍了一种新研制成功的用于测量微小型超精成品钢球（Ｇ３－Ｇ６０）表面粗糙度的测量仪器。仪器的设计采用Ｍ制轮廓针描法。由于设计中采用了特殊结构的高灵敏度角针式压电传感器和极低自振量的旋转式电动驱动机构，使仪器的“虚假信号”降至０．００２￣０．００３μｍ（Ｒａ），仪器示值度动量达到了０．００１￣０．００２μｍ（Ｒａ）水平。