干涉光非接触式读出压力传感器

摘要

本文介绍一种新型压力传感器，它有别于压阻型和电容型压力传感器，利用固定玻璃板和对压力敏感的硅弹性之间的Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ腔所产生的光线干涉原理制成。这种传感器可避免封装应力及热漂移对信号的影响，因而可在５００～１０００℃的高温下使用。