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激光微刻蚀柔性红外热敏悬浮微桥研究

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本文研究使用激光微刻蚀方法制作红外热敏悬浮微桥的新工艺.用激光微刻蚀法制作了铂/聚酰亚胺热敏悬浮微桥,对微桥初样的热敏特性进行了测试,测试结果证实所制作的热敏微桥具有较好的热隔离性能.

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来源
《传感器世界》 |2007年第5期|10-12|共3页
作者
余荣;
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作者单位

兰州物理研究所,表面工程技术国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.14;
关键词
激光微刻蚀; 红外微测辐射热计; 热敏悬浮微桥; 柔性基板;

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