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常见气体声表面波传感器研究进展

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摘要

声表面波(SAW)气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注.本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波传感器的研究进展.

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来源
《传感器世界》 |2009年第3期|6-10|共5页
作者
李晶晶; 李冬梅; 赵以贵; 柯导明; 陈军宁; 贾锐;
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作者单位

安徽大学电子科学与技术学院,100029;

中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室,100029;

中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室,100029;

安徽大学电子科学与技术学院,100029;

安徽大学电子科学与技术学院,100029;

中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室,100029;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
声表面波; 气体传感器; 有害气体; 敏感材料;

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