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胡坐春; 邓春阳;
不详;
压力传感器; 硅膜; 阳极氧化; 腐蚀;
机译:Knudsen泵通过硅深rie,热氧化和片上真空泵的阳极粘接工艺生产
机译:在HF-乙腈和HF-乙醇溶液中通过阳极氧化工艺生产的多孔硅的形态和光学特性
机译:新型硅MEMS制造工艺,包括在玻璃基板上阳极氧化超薄(60μm厚)硅膜的工艺
机译:阳极氧化工艺控制参数对阳极氧化铝多孔膜力学性能的影响。
机译:制备多孔阳极氧化铝膜的高度可控的电化学阳极氧化工艺
机译:基于通过丝网印刷的质子传导聚合物膜(PEMFC)的使用,开发用于燃料电池的电极-膜-电极组件的生产工艺开发用于生产质子交换膜燃料的膜电极组件的筛网印刷工艺的开发细胞
机译:用于高灵敏度压力传感器的硅/多孔硅复合膜
机译:改善铬附着力的无铬工艺膜阳极氧化薄膜的无阳极氧化工艺改善膜阳极氧化的无铬工艺
机译:具有单晶硅膜的半导体压力传感器,应变仪及其制造工艺
机译:多晶硅和单晶膜的半导体压力传感器-dehnungsmesstreifen及其制造工艺
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