512＊512像素PtSi肖特基势垒红外图像传感器

摘要

已经研制了具有电视质量标准的红外图像传感器,该传感器可在3～5μm红外波段区热成像,陈列尺寸为外512×512像素,器件采用PtSi肖特基势垒光电探测器。为了获得大的占空系数,应用了电荷扫描器件(CSD)结构。该像素由两层多晶硅和两层铝构成,并具有最小设计基准为2μm。像素尺寸和占空系数分别为26×20μm^2和30％。采用金属薄膜和光腔结构改善了器件的灵敏度,势垒高度为0.22eV时,相应的截止波长约为5.6μm。器件以标准电视帧频工作。借助于微粒噪声探测器,在300K时该器件噪声被限制在f/1.5光学范围内,器件的温度差分辨能力约为0.11K。使用该器件已经制作了典型的红外电视摄像机,并获得了高质量的红外图像。