扩散硅压力传感元件的可靠性问题探讨

摘要

本文探讨了工业用扩散硅压力传感元件可靠性的问题,介绍了其应用环境特点、失效模式以及引起失效的种种因素,并从设计和工艺角度出发,给出了防止失效的办法及保证可靠性的措施。