混合集成力敏传感器的研制

摘要

本文对半导体应变式传感器的非线性、温度零漂、灵敏度温度系数、蠕变等参数进行了研究,建立了电子线路综合补偿方法,并采用半导体平面工艺研制成功了小型硅应变片,与混合集成电路技术结合,使敏感元件与补偿、放大电路组合成为一体。