测量流速流向的微型片式流量传感器

摘要

应用热传导率低的薄玻璃片为衬底研制成了两种微型热流量传感器,其中一种流量传感器可测流速和温度,而另一种传感器可测流速和方向。其制造工艺并不是简单地利用基片刻蚀技术,而是用溅射方法在玻璃衬底上沉积形成三个铂薄膜电阻,它们分别是微加热器、加热器温度控制器、温度传感器。这两种新型片式传感器能够很精确、灵敏地测出流体速度和流体方向。