微机械加工中的RIE技术

摘要

简述了反应离子刻蚀（ＲＩＥ）技术在微型传感器部件加工制造中的应用，报道了采用ＮＦ３、ＳＦ６等气体反应离子刻蚀Ｓi的实验结果，研制出了φ300um的微型Si齿轮。