厚膜压力传感器的设计和研究

摘要

阐述了厚膜力繁浆料基本配方和工艺，传感器设计及有关原理，并对厚膜电阻（TFR）工艺条件对力敏特性的影响和关系进行了一些探讨，对研制成功的传感器主要性能指标及开发应用前景也作了介绍。