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声表面波湿度传感器

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摘要

叙述了声表面波的有关概念。介绍了声表面波湿度传感器的工作原理及器件制作,并对这种新型湿度传感器的性能及有关问题作了讨论.

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来源
《传感器技术》 |1993年第4期|12-15|共4页
作者
孔令兵; 武明堂;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类声光器件;
关键词
湿度传感器; 声表面波器件; 传感器;

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