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秦明; 黄庆安;
不详;
触觉传感阵列; 传感器; 硅电容式;
机译:MEMS-CMOS电容式触觉传感器的集成和封装技术,适用于使用厚BCB隔离层和背面刻有凹槽的电连接的机器人
机译:基于CMOS的电容式触觉传感器的开发,该触觉范围和灵敏度可通过聚合物填充进行调节
机译:3D印刷可伸展电容式传感器,适用于高敏感的触觉和电化学传感
机译:使用电容式触觉接近传感器进行预成形和触觉探索的6D接近伺服
机译:三轴电容式触觉传感器的法向力和剪力测量与分析
机译:基于硅通孔的电容式MEMS传感器3D封装技术研究
机译:电容式压力传感器采用SOI-Si直接晶圆键合和玻璃回流技术的晶片通过硅通孔通孔
机译:表面微机械电容式触觉图像传感器
机译:电容式和触觉传感器及相关传感方法
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