新型集成压电式加速度传感器

摘要

带质量块的集成硅压电式加速度传感器是硅刻蚀加工与硅集成电路技术相结合的产物,它取得了近直流响应,灵敏度高等极佳的综合性能。重点介始了该传感器的结构和工艺,并简述了发展概况。