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碳纳米管薄膜; 单壁; 制备; 科学家; 中科院金属研究所; 薄膜晶体管; 连续合成; 世界范围;
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机译:含高温臭氧处理的纳米级超低介电薄膜的制备方法及用相同方法制备的纳米级超低介电薄膜的制备方法
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