全离子注入双极硅微波晶体管E-B结低、软特性浅析

摘要

通过全离子注入双极硅微波晶体管研究中出现的E-B结特性软、低击穿和β变小等现象,从理论上给以浅析,同时,指出了设计和工艺上改进的措施。