微电子生产中的关键之一─—环境洁净技术发展动态

摘要

从多方面综述了微电子生产中环境洁净技术的最新发展动态，包括洁净室的柔性布置、微环境的概念、关于ＳＭＩＦ系统、静电及湿度的控制和风速的选择等。