中国首台具有自主知识产权MOCVD设备问世

摘要

由青岛杰生电气有限公司承担的国家863半导体照明工程重点项目“氮化镓-MOCVD深紫外LED材料生长设备”研制取得突破，我国首台具有自主知识产权的并能同时生长6片外延片的MOCVD设备研制成功。