浅谈半导体卧式BTU扩散炉的进出舟控制

摘要

在本公司的半导体器件生产中,扩散所加工的各种工艺占的全线工艺超过一半以上,可见扩散工艺的生要性.扩散炉管中的进出舟的稳定性和可靠性,相当重要,占设备日常故障处理维护的三分之一.BTU原来的进出舟部分控制板,电路复杂,维修困难,校准困难,且易受天气影响.所以改造成简单可靠、稳定,不需要校准,上电就可使用,是非常有必要,也工业生产所追求的.本文主要讲述本人对进出舟部分的改造和工作这些年来对进出舟故障的处理心得,还有维护要点.